Filmische Verunreinigungen in Prozesskette beherrschen
Dr. Michael Flämmich
Bislang wurden bei der Teilereinigung hauptsächlich partikuläre Verunreinigungen betrachtet. Doch zunehmen werden nun auch filmische Verunreinigungen als qualitätsbeeinflussend wahrgenommen. Für eine neue Richtlinie werden im FiT praxistaugliche Handlungsempfehlungen zur qualitätssichernden Prozessführung erarbeitet.