Hybride Feinstreinigung - vollautomatisiert und verkettet
Komponenten für die Hochvakuumtechnik unterliegen strengsten Anforderungen an den Sauberkeitsgrad. Eine vollautomatisierte Teilereinigungslinie, bestehend aus fünf über ein Shuttlesystem verketteten Einzelanlagen, entfernt Verunreinigungen bis in den Bereich weniger Atomlagen.