Kleinsten Rückständen auf Oberflächen auf der Spur

Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM

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Mithilfe der laserinduzierten Plasmaspektroskopie lassen sich Kontaminationen von Oberflächen per digitalisierter Inline-Messung schon während des Fertigungsprozesses erkennen. Im Rahmen des Projekts "ALASKA" wurde diese Technologie genutzt und in eine vollständig automatisierte Einheit für komplexe Prozessketten überführt. 

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