Kleinsten Rückständen auf Oberflächen auf der Spur
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM
Mithilfe der laserinduzierten Plasmaspektroskopie lassen sich Kontaminationen von Oberflächen per digitalisierter Inline-Messung schon während des Fertigungsprozesses erkennen. Im Rahmen des Projekts "ALASKA" wurde diese Technologie genutzt und in eine vollständig automatisierte Einheit für komplexe Prozessketten überführt.