Oxidschichten von elektronischen Bauelementen inline entfernen
Anne-Laureen Lauven
Die Oxidation von Metallen stellt in der Elektronikfertigung eine große Hürde dar. Trends wie steigende Leistungsanforderungen und die zunehmende Miniaturisierung von Bauteilen verschärfen diese Problematik. Ein Spezialist für Plasmasysteme hat nun ein Tool entwickelt, das die schonende, zuverlässige und umweltfreundliche Entfernung von Oxidschichten im Inline-Prozess verspricht.