Während die klassische visuelle Inspektion eines einzigen miniaturisierten Bauteils mit dem Mikroskop je nach Komplexität der Komponente Stunden dauern kann, prüft und bewertet das neue Inline-Mikroskop 'Mikro.Specter' von 'Mabri.Vision' Bauteile innerhalb weniger Sekunden. So kann es in die Produktion integriert werden und eine automatische 100 %-Prüfung durchführen. Typische Einsatzbereiche des Highspeed-Mikroskops sind Bauteile mit Abmessungen bis etwa 300×300 mm, die Mikrostrukturen aufweisen. Beim Spritzguss mit Formelementen im Bereich von 10 bis 50 µm erkennt es beispielsweise Formfehler wie Materialüberschuss, Grate oder Verschlüsse. Sie sind etwa bei der Herstellung mikrofluidischer Elemente entscheidend für deren zuverlässige Funktion. Bei der Fertigung von Displays oder von Präzisionsbauteilen aus Metall detektiert das System kleinste Formabweichungen. Im Reinraum erfasst es bei der Herstellung von Halbleiterelementen Kratzer oder eingetragene Partikel auf Wafern oder Prozessoren. Der Prozess ist vollständig in die Fertigungslinien integriert und läuft automatisch: Nachdem die Bauteile im Takt der Produktion auf Warenträgern in die Messzelle gefahren wurden, scannt die Kamera die Oberfläche. Dabei wird der Warenträger mit einer Geschwindigkeit von bis zu 40 mm/s unter der stationären Beleuchtungs- und Kameraeinheit bewegt. Bei einer Auflösung von beispielsweise 0,75 μm und etwa 18.000 Pixel pro Zeile ergeben sich rund 13 mm breite Streifen, die das System nacheinander scannt und zu einem vollständigen Bild zusammenfügt. Nach wenigen Sekunden ist die Prüfung beendet, der Warenträger verlässt die Messzelle und die Bewertung "iO" oder "niO" wird angezeigt. Durch die schnelle, parallelisierte Verarbeitung der Daten erreicht das Mikroskop je nach Größe des Bauteils Taktzeiten von weniger als 30 Sekunden.
Autor(en): wi
