Neue In-situ-Messverfahren für hohe Prozesstemperaturen

Erstmals ist es gelungen, kontaktlose In-situ-Messungen unter Hochvakuumbedingungen bei Temperauren von bis zu 220 °C zu realisieren. Per Hochfrequenz-Wirbelstrommessung lassen sich so Schichtwiderstand, Schichtleitfähigkeit oder Metallschichtdicke direkt nach heißen Schichtabscheide- oder Schichtmodifizierungsprozessen berührungslos bestimmen.