Präzisionsoptische Komponenten, etwa Interferenzfilter, enthalten oftmals mehrere Hundert Einzelschichten, um die die gewünschten Eigenschaften zu realisieren. Bei der Beschichtung sind präzise Kontrollen der aufgebrachten Schichtdicken und -eigenschaften kontinuierlich über den gesamten Prozessverlauf erforderlich – das gilt sowohl für Inline-Beschichtungen mit hohem Durchsatz als auch für individuelle Präzisionsbeschichtungen in kleineren Stückzahlen. Für derartige Anwendungen bietet die am Fraunhofer IST entwickelte Software Mocca+ (Modular Optical Coating Control Application) Lösungen für eine optimale integrierte Prozessplanung, -überwachung und -steuerung. Die Funktionen reichen von der Produktionsplanung über das Handling von Substraten bis hin zu Routinen zur automatischen Abschaltung und zum Wiederanfahren bei Stromausfällen. Außerdem lernt die Software kontinuierlich aus durchgeführten Prozessen, ein Eingreifen zwischen den einzelnen Beschichtungsaufträgen ist nicht notwendig. Das Herzstück bildet ein optisches System, das es erlaubt, Transmissionsmessungen an optischen Komponenten während der Beschichtung durchzuführen. Die hohen Anforderungen an Wiederholrate, Integrationszeit und Stabilität werden mithilfe eigens entwickelter Spektrometermodule erfüllt. Die optische Messtechnik ermöglicht Transmissions- oder auch Reflexionsmessungen innerhalb weniger Millisekunden.
Autor(en): api
